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  • 潔凈車間微振動控制概述

    華銳凈化 2020-11-25 12:47 閱讀

    二戰后半個世紀是現代科技高速發展的時期,人類經過半個世紀的努力,無論在農業、工業、醫藥、生物、宇宙探索、環境以及基本理論研究(research)等方面,都取得了偉大的成就。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產企業應具備良好的生產設備,合理的生產過程,完善的質量管理和嚴格的檢測系統,確保最終產品質量(包括食品安全衛生等)符合法規要求。材料的高純度、產品的高精度(精確度)及高可靠性是這一時期科技發展的特點。超微細加工、裝配(assemble)和測試(TestMeasure),對諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對超純水、超純氣體等的嚴格要求,使由此產生的環境控制(control)學得到了迅速發展。潔凈車間控制微振動即防微振,是環境控制的一個重要組成部分。防微振的重要性體現在各行各業:例如感光化學工業,彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19μm,在涂布過程中由于徵小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻,在膠片上產生橫紋;在慣導技術方面,為了提高導彈的打擊精度,準確命中目標(cause),需要對陀螺儀、加速度計及組合制導系統的精度提出高的要求,這種高精度慣導系統的調試和檢測,必須在極為寧靜的環境中進行;對于微電子工業,線寬0.1μm產品已進入市場,硅(silicon)片加工中的光刻工序對微振動的控制要求極為嚴格;其他如精密(precise)機械加工、光學器件檢測、激光(LASER)實驗(experiment)、超薄金屬軋制以及理化實驗等都需要對微振動進行控制。在集成電路的制造過程中,被加工的是單一的硅片,從原料(raw material)到產品需要進行幾百道物理、化學加工工序,其間如果遭受污染,就會引起產品大量報廢,例如64MDRAM,在制造過程中,空氣中塵埃粒徑應被控制在0.035μm以下;環境微振動值應控制在4.5×10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振動會引起對位不準,影響產品的成品率。為了滿足集成電路日益精細的加工要求,各國在潔凈車間微污染控制技術領域內投入了可觀的人力、物力進行系統研究,取得了大量科技成果,涌現了一批高科技產品,諸如超高效過濾器(過濾效率(efficiency)達99.999 99%)的問世及ISO 3級潔凈車間的建立;超純水及超純氣體的應用;隧道(tunnel)式潔凈車間及微環境系統潔凈車間的出現和使用,大大降低(reduce)了污染。在防微振領域,從潔凈車間結構形式、動力設備布置及隔振措施(指針對問題的解決辦法)到精密設備防微振措施等方面獨特(釋義:特有的、特別的)的建樹,為集成電路生產(Produce)提供了一個優良的環境??梢哉J為,當今徽污染控制領域諸多科技成果的出現無不與集成電路生產的飛速發展有關。集成電路工廠的前工序對微環境控制最為嚴格。在防微振方面,要求潔凈車間建造在遠離鐵路、機場、公路干線且綠化較好的地區,總平面布置要求單建的動力站房與潔凈車間之間留有足夠的距離。我國對潔凈車間防微振的研究及工程實踐始于20世紀60年代初期,經歷了幾代人的努力,不僅建立和完善了防微振理論,開發了防徽振用系列化隔振產品,還進行了大量的工程實踐,成功地解決了彩色膠片涂布、慣導系統測試、集成電路光刻工序、空間光學系統檢測、激光實驗、超薄金屬軋制、文物保護等方面的防微振問題,為我國現代化科技的發展做出了貢獻。隨著科學技術的發展、進步,防微振技術必須不斷地探索、提高和深化,這將是歷史的必然。而解決好防微振技術,應重點考慮(consider)以下幾個方面。·微振動控制值的確定;·場地選擇及微振動測試與分析(Analyse);·防微振工程設計程序(procedure);

    ·防微振工程設計。GMP凈化車間GMP是一套適用于制藥、食品等行業的強制性標準,要求企業從原料、人員、設施設備、生產過程、包裝運輸、質量控制等方面按國家有關法規達到衛生質量要求,形成一套可操作的作業規范幫助企業改善企業衛生環境,及時發現生產過程中存在的問題,加以改善。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產企業應具備良好的生產設備,合理的生產過程,完善的質量管理和嚴格的檢測系統,確保最終產品質量(包括食品安全衛生等)符合法規要求。

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